MEMSのご利用方法

ご利用に関する注意事項（規程及び約款）

産総研では、次の「国立研究開発法人産業技術総合研究所研究施設等の利用及び貸付に関する規程」及び「共用施設等利用約款」に基づき、各共用施設が管理する研究装置をご利用いただけます。

• 国立研究開発法人産業技術総合研究所研究施設等の利用及び貸付に関する規程【PDF：131 KB】
• 国立研究開発法人産業技術総合研究所共用施設等利用約款【PDF：233 KB】
  ※2024年11月1日付で共用施設等利用約款を一部改正しました（第９条の修正。その他、重複事項の集約など軽微な点を修正。）。

MEMSご利用までの流れ

STEP1 事前相談

利用申込書をご提出いただく前に、MEMS研究開発拠点（MEMS）の管理責任者と技術的、スケジュール的に利用可能かについて「事前相談」をしていただく必要がございます。

事前相談をご希望の方は、件名を「MEMS研究開発拠点利用希望」として相談内容をナノプロセシング施設運営室（下記「連絡先」記載）までメールでご連絡ください。管理責任者にお繋ぎ致します。

STEP2 内諾通知

ご相談いただいた内容が当施設として技術的・スケジュール的にご利用可能であれば、施設の管理責任者より内諾を通知いたします。

ご注意：「内諾」は、現場が技術的、スケジュール的に受入可能であることをお伝えすることを指しております。弊所としてご利用を承諾する手続きとは異なりますので、お間違い無きようお願い申し上げます。

STEP3 申込書の提出

内諾内容に基づき「研究施設等利用・貸付申込書（WORD形式： 32KB） （PDF形式：221KB）」にご記入の上、PDFファイル化し、ナノプロセシング施設運営室（下記「連絡先」記載）までメールでご送信ください。原本をお送りいただく必要はございません。
申込書の書き方等につきましては、ナノプロセシング施設運営室（下記「連絡先」記載）までお問い合わせください。

ご注意：約款をお読みいただき、ご同意いただいた上でお申込みいただきますようお願い申し上げます。

STEP4 申込内容の審査

約款第３条第２項の各号に基づきお申込みいただいた内容を審査させていただきます。
原則10営業日以内にご回答致します。

STEP5 ご回答

審査終了後、回答書をご送付致します。
お申し込みを受理した後に、施設のご利用が可能になりますのでそれまで少々お待ちください。
※約款第３条第２項を満たさない場合等、利用申込みを受理できない場合がございます。ご了承ください。

お問い合わせ

共用施設等利用制度の詳細に付きましてはお気軽にナノプロセシング施設運営室（下記「連絡先」に記載）までお問い合わせください。

単価表

MEMS単価表【PDF： 127 KB】（2024年12月1日改定）

※この単価表に記載した金額には消費税等は含まれておりません。