はじめての方へ
エネルギー・環境
生命工学
情報・人間工学
材料・化学
エレクトロニクス・製造
地質調査
計量標準
領域融合プロジェクト
協業・提携のご案内TOP
ホーム > ビジネスの方へ > 協業・提携のご案内 > 産総研の施設・装置を使う > 共用施設 > MEMS研究開発拠点(MEMS)
産総研つくば東事業所内に、200/300mm(8/12インチ)ウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化・評価設備(TKB-812)を整備し、MEMSに関連する企業や大学が集結して共同研究や実証開発によるオープンイノベーションを推進する場を提供しています。先端MEMSデバイスによる小型化、高機能化、産業競争力強化などに加えて、アプリケーション指向で集積化およびシステム化の研究開発を推進することにより、生活環境、インフラ、省エネルギーなどの分野で、社会に貢献する技術開発を目指します。また、MEMSに関連する技術開発の将来を見据えて、プロセス実習を含む講習会などの人材育成活動を推進しています。
これらのMEMS製造設備は、産総研の共用施設利用サービスにより広く大学や企業の皆様に利用いただけます。また、Micro-Nano Open Innovation Center(MNOIC)などと連携して、大口径ウェハMEMS製造ラインによるデバイス試作、各種加工分析装置による研究開発サポートなどのファンドリーサービスを、民間企業や大学等の学術研究機関に対して提供しています。
〒305-8561 茨城県つくば市梅園⼀丁⽬1番地1 2群 電話:029-861-3210 FAX:029-861-3211 Eメール:tia-kyoyo-ml*aist.go.jp(*を@に変更して送信下さい。)
記事検索 産総研マガジンとは
公式SNS
国立研究開発法人産業技術総合研究所
Copyright © National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) (Japan Corporate Number 7010005005425). All rights reserved.