産総研：スーパークリーンルーム（SCR）のご利用方法

規程、約款および料金表

産総研では、次の「国立研究開発法人産業技術総合研究所共用施設等の利用に関する規程」及び「共用施設等利用約款」に基づき共用施設をご利用いただいております。
ご注意：約款をお読みいただき、ご同意いただいた上でお申込みいただきますようお願い申し上げます。

• 国立研究開発法人産業技術総合研究所研究施設等の利用及び貸付に関する規程【PDF：131KB】
• 国立研究開発法人産業技術総合研究所共用施設等利用約款【PDF：233 KB】
  ※2024年11月1日付で共用施設等利用約款を一部改正しました（第９条の修正。その他、重複事項の集約など軽微な点を修正。）。

• SCR単価表【PDF形式：98KB】（2024年12月1日改定）

共用施設ご利用までの流れ

STEP1 事前相談

利用申込書をご提出いただく前に、SCRの管理責任者（下記参照）に連絡し、当施設がお客様のご利用目的に技術的、スケジュール的に対応可能かを事前にご相談ください。

施設管理責任者：先端半導体研究センター
問い合わせフォーム：フォームを開く

STEP2 内諾通知

技術的、スケジュール的にご利用可能であれば、施設の管理責任者より内諾を通知いたします。また、利用者別の暗号化パスワードを発行いたします。

ご注意：「内諾」は、現場が技術的、スケジュール的に受入可能であることをお伝えすることを指しております。弊所としてご利用を承諾する手続きとは異なりますので、お間違い無きようお願い申し上げます。

STEP3 利用申込書の提出

内諾内容に基づき申込書をオンライン申請いただきます。申請方法等は、内諾通知の際にお知らせいたします。

STEP4 申込内容の審査

約款第３条第２項の各号に基づきお申込みいただいた内容を審査させていただきます。
原則10営業日以内にご回答いたします。

STEP5 ご回答

審査終了後、回答書をご送付いたします。
お申し込みを受理した後に、施設のご利用が可能になりますのでそれまで少々お待ちください。
※約款第３条第２項を満たさない場合等、利用申込みを受理できない場合がございます。ご了承ください。

お問い合わせ

共用施設等利用制度の詳細に付きましてはお気軽に先端半導体研究センター（下記「連絡先」記載）までお問い合わせください。