開催趣旨
半導体デバイスの高密度化によって生じる熱を適切に管理するには、ナノスケール薄膜、TIMおよび放熱基板などの構成部材の熱物性を正確に評価し、デバイスの熱設計を実施する必要があります。ISO/TC 229では、JWG 2（計測と特性評価）において2024年のカルガリー会合から熱物性計測法に関する標準化の動きが出てきました。そこで本ワークショップでは、薄膜やグラファイトシートの熱物性計測やそれらの標準化について話題提供を頂くとともに、計測の信頼性を支える計量標準を取り上げます。熱機能材料や熱物性計測に強みをもつ日本において、これらの国際標準化活動を推進する機会となれば幸いです。
本ワークショップは国際ナノテクノロジー総合展･技術会議（nano teck 2026）の併催会議です。
開催概要
| 日時 |
2026年1月30日（金）13:30-17:00 |
| 会場 |
東京ビッグサイト 会議棟1F 102会議室（〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1） |
| 事前登録期限 |
2026年1月28日（水） Webサイトより申し込み |
| 主催 |
国立研究開発法人 産業技術総合研究所・ナノテクノロジー標準化国内審議委員会 |
| 問合せ先 |
ISO/TC229国内審議委員会事務局
Eメール：M-nanoWS-ml*aist.go.jp（*を@に変更して送信下さい。） |
プログラム
プログラム内容は都合により変更する場合がございます。