JST 課題達成型基礎研究の一環として、産業技術総合研究所 ナノシステム研究部門 大谷 実 研究グループ付と筑波大学 岡田 晋 准教授らは、イオン性分子を2層のグラフェン表面に吸着させることによりグラフェンを半導体化できることを理論的に提示しました。また、吸着させるイオン性分子の種類を制御することにより、半導体化された2層グラフェンの伝導特性を制御できる可能性があることを理論的に示しました。
グラフェンは炭素原子が蜂の巣状に6角形のネットワークを形成したシートで、原子1層からなる究極の薄さと、そのシート上に高移動度の電子が存在することから、世界的に注目されている新材料です。しかし、グラフェンを次世代半導体デバイスとして応用するためには、本質的に金属である電子状態を何らかの手段により変調し、半導体化させる必要があります。
本研究チームは、2層のグラフェンに対して鉛直方向に電界を加えることでグラフェンを半導体化できる事実に着目し、2層グラフェンの上下面をそれぞれ陽イオン分子、陰イオン分子を用いて皮膜し、陽イオン分子と陰イオン分子によるサンドイッチ構造を構築することによって、イオン性分子間に生じる電位差による2層グラフェンの半導体化が可能であることを示しました。さらに、陽イオン分子と陰イオン分子の組み合わせにより、半導体化された2層グラフェンの伝導特性をn型またはp型に制御できることを理論的に示しました。
本研究結果は、優れた電気伝導特性を持つグラフェンを用いた半導体デバイス(素子)の実現、設計において重要な知見となりうるものと期待されます。
本研究成果は、米国応用物理学会速報誌「Applied Physics Letters」のオンライン版で近く公開されます。
本成果は、以下の事業・研究領域・研究課題によって得られました。
戦略的創造研究推進事業 チーム型研究(CREST)
研究領域:「次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究」
(研究総括:渡辺 久恒 株式会社 EUVL基盤開発センター 代表取締役社長)
研究課題名:「計算科学によるグラファイト系材料の基礎物性解明とそのデバイス応用における設計指針の開発」
研究代表者:岡田 晋(筑波大学 数理物質系 准教授)
研究期間:平成21年10月~平成27年3月
JSTはこの領域で、微細化パラダイムのみでは実現できない機能・性能を持つ、革新的かつ実用化可能なエレクトロニクスデバイスを創製するための材料・構造の開発およびプロセス開発を行っています。上記研究課題では、グラファイトやグラフェン、並びにグラフェン誘導構造を有するナノスケール炭素物質群に対して、量子力学に立脚した計算科学的手法による基礎物性解明を行い、グラファイト系デバイスの設計指針の提示を行っています。
半導体エレクトロニクスデバイスはシリコンの微細化によって、高集積化をはじめ高速化と低消費電力化が同時に達成されてきました。しかし、最近ではデバイスの微細化だけでは高速化や低消費電力化を達成することが困難になってきており、新しい材料や新しい原理に基づく機能デバイスを実現するための研究が盛んに行われています。
近年、カーボンナノチューブやグラフェンに代表されるカーボン系材料は、そのネットワークが本質的に持っている、低次元性、ナノメートルスケールの微細性、さらには高い電子輸送特性からポストシリコン材料として注目されています。しかし、グラフェン自身は半導体ではなく、特異な分散関係を持つ金属であるため、そのままでは半導体材料として用いることはできません。
本研究ではグラフェンの半導体デバイス応用において鍵となる、グラフェンの半導体化が、2層グラフェンとイオン性分子からなる複合構造体において実現できることを理論的に示しました。また、同時にグラフェン面に吸着させるイオン性分子種の選択により、半導体化された2層グラフェンの伝導特性を制御できることを示し、グラフェンを用いた半導体デバイス設計指針を理論的に提示しました。
今回の研究では、2層グラフェンの表面をそれぞれ陽イオン分子、陰イオン分子によって皮膜し、イオン性分子間に生じる電位差を用いた2層グラフェンの半導体化の可能性を量子論に立脚した計算科学の手法を用いて検討しました。ここでは、鉛直電界下における2層グラフェンが、電界の大きさに依存した有限のバンドギャップを持つ半導体となる性質から、陽イオン分子膜-2層グラフェン-陰イオン分子膜からなるサンドイッチ構造を考え、イオン性分子膜間に生じる電界による2層グラフェンの電子構造制御の可能性に注目しました。
一般的に広く用いられているイオン性分子を候補として、いくつかの陽イオン分子と陰イオン分子の組み合せで理論計算した結果、陰イオン分子としてテトラフルオロ硼(ほう)酸アニオン(BF4)、陽イオンとして1-エチル-1-メチルピロリジウムカチオン(1-Ethyl-1-methylpyrrolidinium)の組み合わせが良いことが分かりました。2層グラフェンの表面と裏面に陽イオン分子と陰イオン分子をそれぞれ吸着させると、2層グラフェンは0.26eVのバンドギャップを持つ真性半導体となることが明らかになりました(図1)。両イオン分子の間には約5Vの電位差が生じており、2層グラフェンはその電位差を2.2V/nmの電界として感知していることにより、半導体化したものと考えられます。
さらに、その他の陽イオン分子と陰イオン分子の組み合わせを使えば、半導体化した2層グラフェンの電子構造を自由に制御できることが分かりました。例えば、陰イオンとしてテトラフルオロ硼酸アニオンと陽イオンとして1-エチルピリジウムカチオン(1-Ethylpyridinium)の組み合わせを使えば、2層グラフェンをp型半導体にすることができます(図2)。また、陰イオンとして炭酸メチルアニオン(CH3CO3)と陽イオンとして1-エチル-1-メチルピロリジウムカチオンの組み合わせを使えば、2層グラフェンをn型半導体にできることが明らかになりました(図3)。
これらの結果は、イオン性分子の塗布という外部電力を必要としない簡便な方法で、2層グラフェンを半導体化することが可能であることを示したと同時に、イオン性分子種の選択により半導体化グラフェンの伝導特性を制御できることを示しました。
実際の半導体デバイスでは、グラフェンは基板上に保持され、かつ電極金属との接合が存在します。これら異種物質を包含した複合構造において今回発見された電子構造制御法の有用性を検証していきます。また、イオン性分子吸着グラフェンの伝導特性の検証も併せて実施していきます。
本研究で提示された、イオン性分子吸着によるグラフェンの半導体化と電子構造制御法の提示は、グラフェンとイオン性分子から簡便にp型半導体、n型半導体を実現し、グラフェンからなるp-n接合構造の実現可能性を示しています。