2015/11/09
TOTO株式会社が産総研独自技術を利用した製品により、第6回ものづくり日本大賞「内閣総理大臣賞」を受賞
2015年11月9日（月）、第6回ものづくり日本大賞の表彰式が行われ、TOTO株式会社およびTOTOグループ会社は、エアロゾルデポジション法（AD法）をもとにした、「次世代半導体デバイスを支える『製造装置用低発塵性部材』の開発」で、「内閣総理大臣賞」を受賞しました。
AD法は産総研が独自に発見したセラミックス微粒子に見られる常温衝撃固化現象を利用した革新的なコーティング技術です。産総研とTOTO株式会社は1999年よりAD法の実用化に向けた共同研究を進め、その後TOTO株式会社およびTOTOグループ会社がAD法の実用化、量産化に初めて成功しました。
このたびの受賞は、開発した製造装置用低発塵性部材が世界の半導体業界の最先端分野で多大な貢献をしていることが認められたものです。
詳細は以下のページをご覧ください。
（ニュースリリース）
（エアロゾルデポジション法（AD法）について）
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