2016/06/15
つくばセンターつくば西事業所の火災事故発生について
平成28年6月15日
国立研究開発法人産業技術総合研究所
平成28年6月15日（水）午前9時40分頃 つくばセンターつくば西事業所 西5－D棟1階の実験室に設置しているシランガス及び水素ガス（注）を使用する半導体結晶成長装置のメンテナンス作業中に、同装置で一瞬の爆発が発生しました。発生後火はすぐ消えましたが、念のため消火器を使用しました。
なお、火災発生の際にメンテナンス作業を行っていた契約職員1名が火傷を負い、現在搬送先で治療を受けております。この火災による周辺環境への影響はございません。発生原因は現在調査中です。
日頃から防災および安全の確保に努めていたにも関わらず、今回のような火災が発生し周辺の皆様方にご迷惑とご心配をおかけしたことを深くお詫び申し上げます。
（注）シランガス及び水素ガスは、半導体製造プロセスで一般的に用いられているガスで、本件事故発生の現場でも半導体関係の実験のために用いられておりました。
本件に関する問い合わせ先
報道室 川村
電話：029-862-6216
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