産総研：フォトアーカイブ　エレクトロニクス・製造

ミニマルファブとは、集積回路ICを一つ作るのに十分なハーフインチウェハを用いてICを１チップずつ作る、超小型製造装置群からなる最小の集積回路ファクトリーのことです。産総研では、多品種少量ニーズに適応した、新しい半導体システムの姿～ミニマルファブモデルを提案しています。工場ラインと試作ラインの投資規模を大幅にコンパクト化して行くことで、コスト競争力だけでなく、研究開発と生産が直結型であることを最大の強みとし、同時に多品種少量の潜在市場を獲得してゆきます。この新しい産業として最初に現れるミニマルファブの実用未来生産システムでは、１ラインの投資額は従来のメガファブと比べ数千分の１の、およそ１～５億円程度です。このシステムは、(1) １ロット＝１ウェーハ(1/2" 径) ＝１チップ、(2) 装置サイズ30cm幅、(3) ミニマルマニュファクチャリング技術による地球環境対応と産業力強化の同時実現、という３つの特徴を持っています。