注目ポイント

家電や自動車、各種産業機器に使われるインバーターなどのさらなる発展を目指し、実用的な信頼性を満足させる耐電圧の高いSiCスイッチングトランジスタの作製プロセスを構築しました。

SiC半導体のウエハ製造・加工技術からパワー素子の開発、さらにその素子性能を充分に生かせる回路・実装・制御からなるパワーエレクトロニクス統合化技術へと開発を進め、作製プロセス構築など、各種課題で実用化に直結する成果を得ました。自動車等のユーザー企業と、材料メーカー、加工メーカー、デバイスメーカー、装置メーカーが一貫連携して取り組む民活型オープンイノベーション共同研究体の枠組みの中で、国プロ成果等をベースにした実用化研究開発を加速しています。昨今、SiCインバーター製品が社会に使用され始め、鉄道車両、自動車、太陽光発電を中心に各種用途拡大が進んでいます。