垂直光入出力技術と改善点
シリコンを光媒体として使用するシリコンフォトニクスの実用的なアプリケーションでは、垂直光入出力(I/O)はチップ表面への柔軟なI/O配置が可能になるなど、光接続を行うにあたり多くの利点がある。産総研では、比較的簡単かつ安価に平面マイクロミラーを製造する方法を開発したが、ウエハーレベルでの製造・試験、ミラーの2Dアレイとしての2D光I/O配置などはまだ実現できていなかった。また、レンズのように働き、ビームウエスト変換や集光機能、コリメーター機能を実現できる点で有利である曲面マイクロミラーの製造方法を開発することも課題であった。