高分解能FEB 測長装置の賃貸 一式 - 産総研：調達情報
| 大分類 | 公募 |
|---|---|
| 中分類 | 公募公告 |
| 小分類 | 役務の提供等 |
| 対象拠点 | つくばセンター・東京本部 |
| 件名 | 高分解能FEB 測長装置の賃貸 一式 |
| 掲載開始日 | 2024/11/29 |
|---|---|
| 掲載終了日 | 2024/12/20 |
| 内容 |
２０２４年１１月２９日 公 募 公 告 次のとおり公募に付します。 契約担当職 国立研究開発法人産業技術総合研究所 大型調達室長 山野 雅史 １.公募に付する事項 (1) 調達件名及び数量 高分解能FEB 測長装置の賃借 一式 (2) 特 質 等 仕様書による ＜作業概要＞ 本件は既にSCRに設置している高分解能FEB 測長装置（日立ハイテクノロジーズ製 CG5000 シリアルNo：61B8-01、以下「既存装置」という。）と同等の性能をもつ装置を継続的に使用すべく賃貸借契約を行うものである。当該装置は、ArF液浸露光装置を用いて形成される微細なレジストパターンの評価や加工パターンの寸法、バラつき、300mm ウエハー面内の均一性評価のために使用している。より具体的にはArF液浸露光装置が安定的に20 nmパターンを再現性良く、かつウエハー全面に均一に描画しているかどうか、検査確認するために用いており、ArF液浸露光装置の運用に必須の装置である。 (3) 履行期間 ２０２５年４月１日 から ２０３０年３月３１日 (4) 履行場所 国立研究開発法人産業技術総合研究所 ※ 参加意思表明書を提出した者（技術審査を行う場合、合格者）であって、公募に参加する者に必要な資格を満たすと認められる者が複数者いる場合にあっては、競争入札による契約手続きを、また、１者であった場合はその者との随意契約を行うことを予定している。 したがって、契約方法は参加意思表明書の受領期限後（技術審査を行う場合、審査後）に通知する。 ２.公募に参加する者に必要な資格 (1) 国立研究開発法人産業技術総合研究所の契約事務取扱要領第７条及び第８条の規定に該当しない者であること。 (2) 国立研究開発法人産業技術総合研究所の契約に係る競争参加者資格審査事務取扱要領により、「役務の提供等」の等級に格付けされている者であること。 なお、全省庁統一資格において、当該資格を有する者は、同等級に格付けされているものとみなす。 (3) 本公募公告の日から開札の時までの期間に国立研究開発法人産業技術総合研究所の契約に係る指名停止措置等の措置要領に基づく指名停止を受けていないこと。 (4) 公募説明書の交付を受けた者であること。 (5) 技術審査において適格と判断された者であること。 (6) 技術力ある中小企業者等であって、国立研究開発法人産業技術総合研究所の契約に係る競争参加者資格審査事務取扱要領第１７条第１項第１号、第２号、第３号、第４号又は第５号のいずれかに該当する者においては、上記(2)の等級の格付けにかかわらず入札に参加することができる。 ３.契約条項を示す場所、公募説明書の交付期限及び交付場所 ２０２４年１２月６日まで 茨城県つくば市梅園１－１－１ 国立研究開発法人産業技術総合研究所 本部・情報棟6階 調達部大型調達室 ４.公募説明会の日時及び場所 本件についての公募説明会は開催しない。 ５.参加意思表明書及び公募参加に必要な書類の受領期限及び場所 ２０２４年１２月２０日 １２時 厳守 下記６.(4)に提出すること。 ６.その他 (1) 参加意思表明書が、受領期限までに到達しなかった場合、また、本公告に示した公募に参加する者に必要な資格を有しない者が参加意思表明書を提出した場合は、本件調達に係る公募に参加することはできない。 (2) 落札者（契約者）の公表 本契約の名称、契約金額並びに落札者（契約者）の商号又は名称,住所及び法人番号等が公表されることについて同意するものとする。また、研究所との契約において一定の関係を有する場合にあっては、加えて落札者への再就職の状況や、取引の状況に関する情報が公表されることに同意するものとする。なお、情報の公開にあたり必要となる情報の提供を依頼する場合がある。詳細は以下ＵＲＬのとおり。 (3) その他 詳細は公募説明書のとおり。 (4) 本公募に関する問い合わせ先 茨城県つくば市梅園１－１－１ 国立研究開発法人産業技術総合研究所 本部・情報棟6階 調達部大型調達室 佐藤 優樹 ＴＥＬ：050-3522-3595 MAIL ｙｕｋｉ－ｓａｔｏｕ＠ａｉｓｔ．ｇｏ．ｊｐ |
| 詳細 URL | http://www.aist.go.jp/aist_j/procure/oshirase/OB_kohyo.html |